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固化爐的工作原理和操作流程

發(fā)布日期: 2023-02-24
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   真空固化爐是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備,烘箱溫度最高可達450°c
  固化爐的工作原理和操作流程:
  1、固化爐工作原理
  以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源,利用風機對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣,通過熱空氣與物料的熱量傳遞,空氣通過進風口不斷補充,濕空氣排出箱外,使爐內(nèi)的溫度不斷提高,模具逐漸預熱。 操作程序。
  2、固化爐開機前準備
 ?、賺徫徊僮魅藛T開機前首先必須熟悉本機的結構性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
 ?、跈z查設備的狀態(tài)標志及衛(wèi)生清潔狀況。
 ?、蹤z查電器系統(tǒng)是否完好,電動機是有無受潮漏電。
  3、固化爐操作過程
 ?、偈紫葘⑴_車及爐內(nèi)部清洗干凈。
 ?、诖蜷_供電設備電源開關、打開設備“電源開關”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
 ?、鄞蜷_爐門,將模具及物料放上臺車推入烘爐內(nèi),關閉爐門。
  ④設定烘爐溫度,并打開烘爐“風機”及“升溫”按鈕。
 ?、葸_到固化時間打開爐門,將臺車推出爐門,取出固化后的物料。
  ⑥當工作結束時,分別關閉“升溫”和“風機”按鈕,使加熱系統(tǒng)、鼓風系統(tǒng)停止工作。
 ?、咦詈箨P閉“電源開關”旋鈕,合上總閘,打開爐門,取出已烘干的物料,工作程序結束。
  4、固化爐操作注意事項
 ?、俸鏍t安裝場地應平整、光滑。
 ?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當爐箱不用時,應切斷電源,確保安全。
  ③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi),以免發(fā)生安全事故。
  以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程,希望以上知識對您有所幫助!
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